Cilj cirkonijuma je materijal koji se koristi u procesu fizičkog odlaganja pare (PVD) koji se obično koristi za pravljenje tankih filmova. Cirkonijum (hemijski simbol ZR) je tranzicijski metal sa odličnom otpornošću na koroziju, visoku tantu i dobrim mehaničkim svojstvima. Ciljevi cirkonijuma široko se koriste u poluvodičima, optičkim premazima, ukrasnim premazima i funkcionalnim filmovima.
Tačka topljenja: 1852 stepen
Tačka ključanja: 4400 stepeni
Gustina: 6,5 g / cm³
Specifikacije: ravni cilj / okrugli cilj
Standard implementacije: ASTM B550 GB / T {1}} GB / T {2}}
Glavna područja aplikacije
1. Proizvodnja poluvodiča: ciljevi cirkonijuma koriste se za depoziciju visokog dielektričnog konstanta (High-K) filmova, kao što su cirkonijum oksid (zro₂) za dielektrične slojeve tranzistora.
2 Optički premazi: cirkonijumski filmovi imaju visoki indeks refrakcija i dobra optička svojstva, a često se koriste u anti-refleksijskim filmovima ili reflektirajućim filmovima za optičke uređaje i sočive.
3. Dekorativni premaz: cirkonijske ciljeve mogu se koristiti za pripremu ukrasnog premaza otpornog na habanje i koroziju, poput satova, nakita itd.
4. Funkcionalni tanki filmovi: cirkonijumske tanke filmove mogu se koristiti i u pripremi gorivnih ćelija, senzora i katalizatora.
Karakteristike ciljeva cirkonijuma
Visoka čistoća: čistoća cirkono ciljeva obično se može dostići više od 99,9% kako bi se osigurala performanse filma.
Visoka gustina: Cilj zahtijeva visoku gustinu za smanjenje generacije čestica tokom prskanja.
Dobra uniformnost: Hemijski sastav i mikrostruktura cilja moraju biti ujednačeni kako bi se osigurala konzistentnost filma.
Proces pripreme
Priprema cirkonijskih ciljeva obično uključuje sljedeće korake:
1. Topljenje: Pripremite cirkonije visoke čistoće vakuumskim lučnim topljenjem ili topljenjem elektronskog snopa.
2. Kovanje i valjanje: Poboljšajte mikrostrukturu i mehanička svojstva materijala kroz vruću obradu.
3. Obrada: Procesi materijal u oblik i veličinu pogodan za šljunčanje opreme.
4. Čišćenje i pakiranje: Provjerite je li ciljna površina čista za izbjegavanje kontaminacije.
Popularni tagovi: Zirkonijum-cilja za savlačenje cirkonijuma, Kina Pljusak premaz cirkonijumskih ciljeva proizvođača, dobavljači, tvornica, Тантал теүәллек штангалары, экранлау бүлмәһе өсөн вольфрам тәрилкәһе, молибден император винттар, ультра нәфис вольфрам трубка, юғары иретеү нөктәһе вольфрам трубка, детектор өсөн вольфрам трубка
